Tìm hiểu bộ lọc HEPA trong phòng sạch điện tử

HEPA (High Efficiency Particulate Air) là loại bộ lọc không khí hiệu suất cao, có khả năng loại bỏ ít nhất 99,97% hạt bụi có kích thước ≥ 0,3 micron. Với đặc tính này, HEPA trở thành tiêu chuẩn lọc phổ biến trong nhiều ngành công nghiệp, đặc biệt là trong môi trường phòng sạch điện tử, nơi yêu cầu chất lượng không khí ở mức cực kỳ nghiêm ngặt.

Trong phòng sạch điện tử, bộ lọc HEPA được sử dụng rộng rãi để kiểm soát bụi mịn, vi sinh và các tạp chất siêu nhỏ có thể gây ảnh hưởng trực tiếp đến quá trình sản xuất vi mạch, màn hình LCD, cảm biến hay các linh kiện bán dẫn. Chỉ một hạt bụi siêu nhỏ lọt vào trong quá trình chế tạo chip cũng có thể khiến sản phẩm bị lỗi, gây thiệt hại hàng nghìn đến hàng triệu đô la.

Ưu điểm lớn nhất của HEPA là sự cân bằng giữa hiệu suất lọc, độ ổn định và chi phí đầu tư. Với tuổi thọ trung bình từ 3–5 năm (tùy theo điều kiện vận hành và mức độ bảo dưỡng), HEPA giúp doanh nghiệp kiểm soát không khí sạch với chi phí hợp lý, dễ thay thế và bảo trì hơn so với những bộ lọc công nghệ cao hơn như ULPA.

Ngoài ra, nhờ khả năng vận hành ổn định và tiêu chuẩn hóa cao, HEPA được xem là giải pháp “xương sống” trong nhiều hệ thống HVAC phòng sạch điện tử. Các doanh nghiệp có thể thiết kế hệ thống theo module, dễ mở rộng quy mô sản xuất mà không cần thay đổi toàn bộ giải pháp lọc.

Tuy vậy, HEPA cũng có những giới hạn nhất định. Với khả năng lọc tối đa các hạt ≥ 0,3 micron, HEPA có thể chưa đáp ứng được yêu cầu của những quy trình siêu tinh vi trong sản xuất chip ở mức công nghệ dưới 10 nm, nơi cần loại bỏ cả những hạt siêu nhỏ hơn nữa. Đây cũng chính là lý do các nhà máy bán dẫn tiên tiến chuyển sang sử dụng bộ lọc ULPA để đạt hiệu quả tối ưu.

>>> Tìm hiểu thêm về: Thiết bị và giải pháp cần có trong phòng sạch điện tử (Phần 1)

Tìm hiểu bộ lọc ULPA trong phòng sạch điện tử

ULPA (Ultra Low Penetration Air) là dòng bộ lọc không khí hiệu suất siêu cao, được thiết kế để loại bỏ đến 99,9995% hạt bụi có kích thước ≥ 0,12 micron. So với HEPA, ULPA xử lý được cả những hạt siêu mịn mà mắt thường không thể nhìn thấy và HEPA cũng khó lọc hoàn toàn.

Trong phòng sạch điện tử, bộ lọc ULPA đặc biệt quan trọng ở những khu vực yêu cầu mức độ tinh khiết tuyệt đối, chẳng hạn như sản xuất vi mạch bán dẫn, màn hình OLED, tấm nền quang học, cảm biến chính xác hay thiết bị y sinh. Chỉ một hạt bụi siêu nhỏ cũng có thể gây ra lỗi vi mạch, làm hỏng cấu trúc siêu mỏng hoặc tạo ra điểm chết trên màn hình.

Ngoài khả năng lọc vượt trội, ULPA còn được đánh giá cao bởi:

• Độ ổn định lâu dài, giúp duy trì chất lượng không khí ổn định trong nhiều năm.

• Khả năng kết hợp với hệ thống HVAC phòng sạch, đảm bảo lưu thông khí hiệu quả mà không gây chênh lệch áp suất bất thường.

• Tiêu chuẩn quốc tế nghiêm ngặt, thường được chứng nhận theo EN 1822 hoặc IEST-RP-CC001 để đảm bảo tính chính xác trong kiểm định.

Mặc dù chi phí đầu tư và thay thế ULPA cao hơn HEPA, nhưng trong những dây chuyền yêu cầu độ tinh khiết tuyệt đối, đây là lựa chọn không thể thay thế. Bộ lọc ULPA đóng vai trò như lá chắn cuối cùng bảo vệ sản phẩm điện tử giá trị cao khỏi rủi ro ô nhiễm hạt siêu nhỏ.

>>> Tìm hiểu thêm về: Thiết bị và giải pháp cần có trong phòng sạch điện tử (Phần 2)

Sự khác biệt giữa bộ lọc HEPA và ULPA

• Hiệu suất lọc: HEPA lọc được hạt ≥ 0,3 micron, ULPA lọc được hạt ≥ 0,12 micron.

• Mức độ sạch đạt được: HEPA đáp ứng ISO Class 5–7, trong khi ULPA được ứng dụng trong ISO Class 1–4, phù hợp với ngành sản xuất bán dẫn.

• Chi phí và vận hành: ULPA có giá thành cao hơn và cần thay thế thường xuyên hơn do khả năng giữ bụi mịn quá lớn, trong khi HEPA bền hơn và tiết kiệm chi phí.

• Ứng dụng thực tế: HEPA phù hợp cho các phòng sạch sản xuất điện tử thông thường, còn ULPA gần như bắt buộc trong dây chuyền chế tạo chip, wafer bán dẫn và linh kiện siêu tinh vi.

>>> Tìm hiểu thêm về: Tiêu chuẩn phòng sạch SMT

VCR – Đối tác tin cậy cho giải pháp lọc khí phòng sạch điện tử

Vietnamcleanroom (VCR) là đơn vị uy tín trong việc cung cấp bộ lọc HEPA, ULPA và các hệ thống lọc khí phòng sạch đạt chuẩn quốc tế, phục vụ cho nhiều ngành công nghiệp, đặc biệt là điện tử và bán dẫn. Với đội ngũ kỹ sư giàu kinh nghiệm, VCR không chỉ phân phối sản phẩm mà còn tư vấn, hỗ trợ giải pháp phù hợp cho từng dự án. Từ những yêu cầu cơ bản như phòng sạch lắp ráp linh kiện điện tử đến các hệ thống siêu sạch phục vụ sản xuất vi mạch, OLED hay cảm biến quang học, VCR đều có khả năng đáp ứng linh hoạt.

Điểm mạnh của VCR nằm ở việc tối ưu chi phí nhưng vẫn đảm bảo chất lượng và độ bền của thiết bị. Ngoài ra, dịch vụ hậu mãi và bảo trì định kỳ cũng giúp doanh nghiệp duy trì hiệu suất hoạt động ổn định, giảm rủi ro gián đoạn trong sản xuất. Nhờ kinh nghiệm thực tiễn từ nhiều dự án lớn, VCR tự tin đồng hành cùng doanh nghiệp trong quá trình xây dựng và vận hành phòng sạch, mang lại môi trường sản xuất an toàn, hiệu quả và bền vững.