Vai trò của AHU trong hệ thống phòng sạch điện tử

AHU trong phòng sạch điện tử không đơn thuần là thiết bị xử lý không khí. Nó là trung tâm điều phối toàn bộ chu trình tuần hoàn khí, từ tiền lọc, làm lạnh, gia nhiệt, kiểm soát độ ẩm đến cấp khí sạch qua hệ thống lọc HEPA hoặc ULPA. Trong môi trường sản xuất bán dẫn, sự dao động nhỏ về nhiệt độ hoặc độ ẩm cũng có thể ảnh hưởng đến quy trình quang khắc và xử lý wafer.

Khác với nhà xưởng công nghiệp thông thường, phòng sạch điện tử yêu cầu kiểm soát đồng thời nồng độ hạt bụi siêu nhỏ, hợp chất hữu cơ bay hơi và chênh áp giữa các khu vực. Do đó, AHU chuyên dụng phải được thiết kế để hoạt động ổn định 24/7 với độ chính xác cao.

>>> Có thể bạn quan tâm: Phòng sạch điện tử xu hướng 2026 định hình tiêu chuẩn sản xuất công nghệ cao

Khác biệt về tiêu chuẩn độ sạch và cấu trúc lọc khí

AHU công nghiệp thông thường chủ yếu tập trung vào điều hòa nhiệt độ và lưu thông không khí, với hệ thống lọc cơ bản nhằm loại bỏ bụi lớn. Trong khi đó, AHU chuyên dụng cho phòng sạch điện tử được tích hợp hệ thống lọc nhiều cấp, bao gồm tiền lọc, lọc trung gian và kết nối với bộ lọc HEPA hoặc ULPA để đạt tiêu chuẩn ISO nghiêm ngặt.

Sự khác biệt này thể hiện rõ ở thiết kế buồng lọc kín khí và khả năng kiểm soát rò rỉ. AHU phòng sạch điện tử phải đảm bảo không có khe hở gây thất thoát áp suất, đồng thời duy trì lưu lượng khí ổn định để hỗ trợ luồng khí một chiều trong khu vực sản xuất.

>>> Có thể bạn quan tâm: Doanh nghiệp điện tử nên đầu tư phòng sạch điện tử nội bộ hay thuê ngoài gia công để tối ưu hiệu quả sản xuất

Kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm chính xác hơn

Trong phòng sạch điện tử, đặc biệt là nhà máy bán dẫn, độ ẩm phải được duy trì trong biên độ rất hẹp nhằm hạn chế tĩnh điện và bảo vệ bề mặt vi mạch. AHU chuyên dụng được trang bị hệ thống điều khiển chính xác cao, cảm biến nhạy và khả năng phản hồi nhanh trước biến động tải nhiệt.

Ngược lại, AHU công nghiệp thông thường chỉ cần duy trì mức nhiệt và độ ẩm ở ngưỡng thoải mái cho con người hoặc máy móc. Mức độ chính xác không cao bằng và không phù hợp với yêu cầu ổn định của phòng sạch điện tử.

Một yếu tố quan trọng khác tạo nên sự khác biệt là khả năng duy trì chênh áp. Phòng sạch điện tử phải đảm bảo áp suất dương so với khu vực xung quanh để ngăn bụi xâm nhập. AHU chuyên dụng được thiết kế với vỏ kín, kết cấu chắc chắn và hệ thống điều khiển áp suất chính xác nhằm duy trì sự chênh lệch ổn định giữa các phòng.

Trong khi đó, AHU công nghiệp thông thường không yêu cầu mức độ kín cao như vậy. Nếu sử dụng AHU tiêu chuẩn công nghiệp cho phòng sạch điện tử, nguy cơ rò rỉ khí và mất kiểm soát áp suất sẽ làm giảm hiệu quả lọc bụi.

Vật liệu cấu tạo và khả năng chống ăn mòn

Môi trường phòng sạch điện tử có thể chứa hơi hóa chất và dung môi trong quá trình sản xuất. Vì vậy, AHU chuyên dụng thường sử dụng vật liệu chống ăn mòn như thép mạ kẽm phủ sơn epoxy hoặc inox ở những khu vực quan trọng. Bề mặt bên trong phải nhẵn, không bám bụi và dễ vệ sinh để hạn chế phát sinh hạt.

Ngược lại, AHU công nghiệp thông thường không phải lúc nào cũng được thiết kế để chịu môi trường có hóa chất nhạy cảm. Điều này khiến tuổi thọ thiết bị giảm nếu áp dụng vào phòng sạch điện tử mà không có cải tiến phù hợp.

Trong bối cảnh tối ưu chi phí vận hành phòng sạch điện tử, AHU chuyên dụng thường được tích hợp biến tần, cảm biến thông minh và hệ thống điều khiển trung tâm. Nhờ đó, lưu lượng khí có thể điều chỉnh linh hoạt theo tải sản xuất, giúp tiết kiệm năng lượng mà vẫn duy trì tiêu chuẩn ISO.

AHU công nghiệp thông thường ít khi được thiết kế cho vận hành chính xác theo chu kỳ sản xuất. Khi áp dụng cho môi trường yêu cầu cao như phòng sạch điện tử, hệ thống có thể tiêu thụ năng lượng lớn hơn mức cần thiết.

AHU trong phòng sạch điện tử không hoạt động độc lập mà phải đồng bộ với hệ thống FFU, panel kín khí và hệ thống quản lý tòa nhà BMS. Việc kết nối dữ liệu thời gian thực giúp giám sát nhiệt độ, độ ẩm, áp suất và lưu lượng khí liên tục.

AHU công nghiệp thường không yêu cầu mức độ tích hợp sâu như vậy. Sự thiếu đồng bộ có thể gây khó khăn khi triển khai trong môi trường phòng sạch điện tử có nhiều phân vùng áp suất phức tạp.

Lựa chọn AHU phù hợp cho phòng sạch điện tử

Rõ ràng, AHU chuyên dụng cho phòng sạch điện tử khác biệt toàn diện so với AHU công nghiệp thông thường, từ cấu trúc, vật liệu đến khả năng kiểm soát môi trường. Việc lựa chọn đúng loại AHU không chỉ giúp đảm bảo chất lượng sản xuất mà còn tối ưu chi phí vận hành lâu dài.

Doanh nghiệp đầu tư vào hệ thống phòng sạch điện tử cần xem xét kỹ các tiêu chuẩn ISO mục tiêu, đặc thù sản xuất và yêu cầu mở rộng trong tương lai để lựa chọn giải pháp phù hợp.

Để triển khai hệ thống AHU đạt chuẩn cho phòng sạch điện tử, việc hợp tác với đơn vị chuyên môn là yếu tố quyết định thành công. Vietnamcleanroom (VCR) là đơn vị chuyên cung cấp thiết bị phòng sạch chuyên dụng đáp ứng yêu cầu khắt khe của ngành điện tử và bán dẫn.

VCR cung cấp hệ thống AHU thiết kế riêng cho phòng sạch điện tử với khả năng kiểm soát chính xác nhiệt độ, độ ẩm, áp suất và tích hợp đồng bộ cùng hệ thống lọc HEPA, FFU và BMS. Với kinh nghiệm thực hiện nhiều dự án công nghệ cao, Vietnamcleanroom đồng hành cùng doanh nghiệp xây dựng môi trường sản xuất ổn định, đạt chuẩn quốc tế và tối ưu hiệu quả vận hành dài hạn.