Vai trò của panel vách và trần trong hệ thống phòng sạch điện tử

Panel vách và trần tạo thành khung bao kín cho phòng sạch điện tử, giúp duy trì chênh áp giữa các khu vực có cấp độ sạch khác nhau. Trong nhà máy bán dẫn, nơi yêu cầu ISO Class 5, ISO Class 4 hoặc cao hơn, chỉ một khe hở nhỏ trong kết cấu cũng có thể làm phá vỡ cân bằng áp suất và ảnh hưởng đến luồng khí một chiều.

Ngoài chức năng ngăn cách không gian, panel còn góp phần kiểm soát rung động, cách nhiệt và hạn chế phát sinh hạt từ vật liệu xây dựng. Một hệ panel chất lượng cao sẽ giúp phòng sạch điện tử duy trì môi trường ổn định lâu dài, giảm chi phí bảo trì và nâng cấp trong tương lai.

>>> Có thể bạn quan tâm: Vai trò của hệ thống HVAC trong kiểm soát độ sạch phòng sạch điện tử

Yêu cầu kỹ thuật đối với vật liệu panel phòng sạch điện tử cho bán dẫn

Trong sản xuất bán dẫn, vật liệu panel phải đảm bảo bề mặt nhẵn, không bám bụi và dễ vệ sinh. Đồng thời, vật liệu không được phát sinh hạt hoặc khí phân tử gây ảnh hưởng đến wafer và lớp photoresist. Khả năng chống ăn mòn hóa chất cũng là tiêu chí quan trọng do môi trường phòng sạch điện tử thường tiếp xúc với axit, dung môi và khí chuyên dụng.

Bên cạnh đó, độ kín khí của panel phải cao, đặc biệt tại các mối nối giữa vách và trần. Hệ thống liên kết cần được thiết kế chính xác để tránh rò rỉ không khí và duy trì áp suất dương ổn định. Đối với khu vực trần kỹ thuật, panel còn phải chịu tải từ hệ thống FFU, đèn chiếu sáng và đường ống kỹ thuật mà vẫn đảm bảo độ bền lâu dài.

>>> Có thể bạn quan tâm: Hệ thống cấp khí một chiều và tác động đến độ ổn định phòng sạch điện tử

So sánh các vật liệu panel phổ biến trong phòng sạch điện tử

Trong thực tế triển khai phòng sạch điện tử, một số vật liệu panel thường được sử dụng gồm thép sơn tĩnh điện, inox và nhôm tổ ong. Mỗi loại có đặc tính riêng phù hợp với từng cấp độ sạch và yêu cầu công nghệ.

Panel thép sơn tĩnh điện được ứng dụng rộng rãi nhờ chi phí hợp lý và bề mặt nhẵn, dễ vệ sinh. Tuy nhiên, trong môi trường bán dẫn có mức độ tiếp xúc hóa chất cao, lớp sơn cần đạt tiêu chuẩn kháng hóa chất để tránh bong tróc theo thời gian.

Panel inox mang lại khả năng chống ăn mòn vượt trội và độ bền cao. Đây là lựa chọn tối ưu cho các khu vực có yêu cầu nghiêm ngặt về vệ sinh và tiếp xúc hóa chất mạnh. Trong phòng sạch điện tử sản xuất wafer, inox thường được ưu tiên tại các khu vực xử lý ướt hoặc hóa chất.

Panel lõi nhôm tổ ong giúp giảm trọng lượng tổng thể và tăng độ cứng cho kết cấu trần phòng sạch điện tử. Với khả năng chịu tải tốt, loại panel này phù hợp cho trần kỹ thuật tích hợp nhiều thiết bị lọc khí và chiếu sáng.

Tính đồng bộ giữa panel và hệ thống HVAC trong phòng sạch điện tử

Hiệu quả của phòng sạch điện tử không chỉ phụ thuộc vào vật liệu panel riêng lẻ mà còn ở sự đồng bộ với hệ thống HVAC. Panel phải đảm bảo khả năng kín khí để hệ thống lọc HEPA hoặc ULPA hoạt động hiệu quả. Nếu kết cấu không đủ kín, áp suất dương sẽ bị thất thoát, buộc hệ thống HVAC hoạt động quá tải và làm tăng chi phí vận hành.

Trần panel trong phòng sạch điện tử sản xuất bán dẫn thường tích hợp lưới FFU với mật độ cao. Do đó, vật liệu và cấu trúc phải đảm bảo độ phẳng và độ bền để duy trì luồng khí một chiều ổn định, hạn chế nhiễu loạn ảnh hưởng đến quy trình quang khắc và xử lý wafer.

Công nghệ bán dẫn thay đổi nhanh chóng, kéo theo yêu cầu nâng cấp cấp độ sạch hoặc bổ sung khu vực sản xuất mới. Vì vậy, panel vách và trần phòng sạch điện tử nên được thiết kế theo hướng mô-đun, dễ tháo lắp và mở rộng.

Hệ panel linh hoạt giúp doanh nghiệp điều chỉnh không gian mà không phải phá bỏ toàn bộ kết cấu cũ. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các nhà máy muốn nâng cấp từ ISO Class 6 xuống ISO Class 5 hoặc cao hơn mà vẫn duy trì hoạt động sản xuất.

Lựa chọn vật liệu tối ưu cho phòng sạch điện tử ngành bán dẫn

Đối với nhà máy sản xuất bán dẫn, giải pháp tối ưu thường là kết hợp panel thép sơn tĩnh điện chất lượng cao cho khu vực chung và panel inox tại các vị trí tiếp xúc hóa chất hoặc yêu cầu vệ sinh cao nhất. Trần kỹ thuật nên sử dụng panel có lõi nhôm tổ ong hoặc cấu trúc gia cường để đảm bảo chịu tải lâu dài.

Quan trọng hơn cả là việc thi công phải tuân thủ tiêu chuẩn lắp đặt phòng sạch điện tử, đảm bảo các mối nối kín khít và không tạo khe hở. Khi vật liệu panel được lựa chọn và lắp đặt đúng chuẩn, phòng sạch điện tử sẽ duy trì hiệu suất ổn định và đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành bán dẫn.

Để lựa chọn vật liệu panel vách và trần phòng sạch điện tử tối ưu cho sản xuất bán dẫn, doanh nghiệp cần sự tư vấn chuyên sâu từ đơn vị có kinh nghiệm thực tế. Vietnamcleanroom (VCR) là nhà cung cấp thiết bị phòng sạch điện tử đạt tiêu chuẩn quốc tế.

VCR cung cấp các dòng panel thép sơn tĩnh điện, panel inox và giải pháp trần kỹ thuật đồng bộ với hệ thống HVAC và FFU. Với kinh nghiệm triển khai nhiều dự án phòng sạch điện tử trong lĩnh vực công nghệ cao, Vietnamcleanroom giúp doanh nghiệp xây dựng môi trường sản xuất ổn định, bền vững và sẵn sàng đáp ứng các tiêu chuẩn ngày càng khắt khe của ngành bán dẫn toàn cầu.